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专家进课堂:国产先进制程光刻机的突围之路

编辑:孙静 时间:2025年10月11日 访问次数:22

2025929日晚,浙江省半导体行业协会副秘书长、浙江科技大学集成电路产业学院执行院长庞保平教授在《中国马克思主义与当代》课程上为同学们带来题为《国产先进制程光刻机的突围之路》的精彩讲座。本次讲座由浙江大学马克思主义学院张立程老师主持。

庞教授首先肯定当前中国半导体产业迅速发展的势头。中国半导体产业正在AI驱动的万亿级市场中孕育本土设备巨头,国家在资金上的大力支持昭示着从“制造大国”向“制造强国”进军的战略决心。其次,结合当今世界半导体产业的热点,庞教授敏锐地指出:当前中国大陆最大的发展短板是在半导体产业中起到支撑性作用的IC装备领域,而光刻机正是该领域占比最高的主机设备。在美日荷垄断全球半导体设备、中国半导体产业面临严峻供应链风险的背景下,我国加速攻克EUVArFi等设备的迫切性不容忽视——“谁拥有高端光刻机,谁就掌握芯片制造话语权”。基于此,庞教授围绕国产光刻机展开进一步分析,他回顾了国产先进制程光刻机的发展历史,介绍了国产光刻机的全产业链布局和我国国产化替代布局的高瞻远瞩。庞教授表示,未来中国半导体产业仍将心无旁骛,专心做好国产半导体制造设备事业,为中国半导体产业发展保驾护航。

当前,新一轮科技革命和产业变革深入发展,世界百年未有之大变局加速演进,科技革命与大国博弈相互交织,高技术领域已成为国际竞争的最前沿和主战场。对于同学们而言,庞教授关于中国半导体产业的洞见和国产先进光刻机的介绍,不仅是一场精彩的科普,更促使大家深刻认知我国科技事业的历史性成就与变革,进而深入理解科技创新对于推进中国式现代化的重要作用。


文字:谢家兴,卢紫梦